可編程勻膠機(旋涂儀)

簡要描述：HC120SE可編程勻膠機(旋涂儀)：安賽斯TM可編程勻膠機采用高效、節省空間的設計；全彩觸屏操作；高級PLC控制；化學兼容性；高精度，高重復性。

產品型號：HC120SE
廠商性質：生產廠家
更新時間：2024-05-28
訪問量：504

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半導體前處理

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詳細介紹

HC120SE可編程勻膠機(旋涂儀)

ANALYSIS Programmable Spin Coater

安賽斯TM可編程勻膠機(旋涂儀)

型號: HC120SE

優勢

設計緊湊，占地面積最小化

全彩色4.3英寸觸摸屏顯示屏

耐腐蝕不銹鋼旋轉碗化學相容性

耐用的臺式設計，也可采用法蘭/甲板安裝配置

高級PLC自動程序控制

電機進膠保護，管路易疏通設計

碗形設計

耐腐蝕不銹鋼旋轉碗

可選鋁箔一次性內襯

透明的聚碳酸酯蓋子，美觀耐腐蝕

可放在手套箱內，用于氣氛環境使用

旋涂碗可取下，方便清潔

旋涂碗尺寸200mm，方便操作

可編程性

觸摸屏界面和顯示器

具有全彩色字母數字功能的圖形用戶界面（GUI）

100組用戶定義配方程序，每個程序10步。

步長為0.1秒的分辨率（3000秒最大步進）

轉速：12000 rpm

旋轉速度加速度：100至30000轉/秒無負載

可選同時、自動化、點膠分配功能

精密度

轉速可重復性：<1 rpm

轉速分辨率：<1 rpm

基板尺寸：<1 cm至120 mm圓形或同等尺寸（對角線）方形樣品

可靠性

防進膠設置保護旋轉電機不受接觸使用工藝化學品和溶劑

真空安全檢測互鎖

業界的可靠性和正常運行時間

零件和勞動力的1年全面保修

免費遠程技術支持（電話、電子郵件、傳真）

產品使用壽命的應用程序幫助

產品外設

電壓范圍：100-125、208-240 VAC、50/60 Hz

功率要求：255瓦

真空接口：6mm

真空：-88kPa，50L/min

尺寸

8.26" (21cm) W × 10.51" (26.7cm) D × 8.26" (21cm) H

Machine weight: 22 lb (10 kg)

Shipping weight: 26 lb (12 kg)）

附件

HCV300無油真空泵1臺，抽氣速度50L/min；

標配三只載物盤（10mm，25mm，50mm各一只），其他尺寸規格載物盤可定制；

通用電容筆1只；

產品合格證1份；

中文操作說明書1份；

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