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可編程精密不銹鋼勻膠機(jī),采用高精度工業(yè)伺服電機(jī),配置8英寸人機(jī)界面,清晰的編程程序界面設(shè)置,易學(xué)易用。是半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器設(shè)備。適合半導(dǎo)體行業(yè)及科研院所,實(shí)驗(yàn)室級(jí)的研究開發(fā)。適合8英寸及以下尺寸晶元旋涂,可編程不銹鋼勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。
不銹鋼勻膠機(jī)HC150P:E可編程勻膠機(jī),采用分體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),高分子HDPE耐腐蝕內(nèi)腔,4.3英寸觸摸屏,工業(yè)級(jí)直流電機(jī)及高級(jí)PLC控制,直觀清晰的程序界面與設(shè)計(jì),美觀大方。適合涂膠處理Ø 5~150mm圓晶尺寸基片。 不銹鋼勻膠機(jī)HC150PE:該勻膠機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單易用,可編程實(shí)現(xiàn)單步旋涂和多步編程旋涂,尺寸小巧,可放入手套箱內(nèi)操作。HDPE高分子材料旋涂?jī)?nèi)腔,美觀耐腐蝕,經(jīng)久耐用。
精密旋涂?jī)x:采用高級(jí)PLC 全自動(dòng)程序控制,轉(zhuǎn)速精度高,穩(wěn)定性好。可用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。
HC220可編程旋涂?jī)x/勻膠機(jī),采用高精度工業(yè)伺服電機(jī),配置8英寸人機(jī)界面,清晰的編程程序界面設(shè)置,易學(xué)易用。適合半導(dǎo)體行業(yè)及科研院所,實(shí)驗(yàn)室級(jí)的研究開發(fā)
HC220PE精密勻膠機(jī) HDPE高分子內(nèi)腔,耐腐蝕,易清潔,帶排廢功能;內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計(jì),有效防濺;可編程寫和存儲(chǔ)100組程序,每組100步
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